一、對材料表面的粒子轟擊，物理作
    等離子體中的在量離、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，等離子表面清洗機(jī)不但清除了表面原有的污染和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)均勻的形貌，增大了樣品的比表面。提高固體表面的附著性能。

二、激活鍵能，交聯(lián)作用
    等離子體中的粒子能量在0-20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0-10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)關(guān)的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

三、形成親的官能團(tuán)，化學(xué)作用
    如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，在活化的材料表面發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，明顯提高材料的表面活性。